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固體潤滑是將固體潤滑劑覆蓋在導軌的摩擦表面上，形成黏結型固體潤滑膜，以降低摩擦，減少磨損。固體潤滑劑種類較多，按基本原料可分為金屬類、金屬化合物類、無機物類和有機物類。

低速運動平穩性動導軌作低速運動或微量位移時易產生摩擦自激振動，即爬行現象。爬行會降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。

數控機床的導軌通常采用集中供油，自動點滴式潤滑方式。國產潤滑設備XHZ系列稀油集中潤滑裝置。該裝置是由定量潤滑泵、進同油精密濾油器、液位檢測器、進給油檢測器、壓力繼電器、遞進分油器及油箱組成。對導軌面進行定時定量供油。
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